章)从苏远山对浸润式光刻技术的支持力度就知道，苏远山是压根都不相信什么F2光源的…… 即便能够完成技术突破，那玩意要牵扯到的方方面面也太广了，几乎可以说和目前的ARF完全不搭。生产和改造成本极为高昂。 当然，如果说F2光源是唯一的解决方案...
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